原子間力顕微鏡 AFM

 

 

 

  スイス Nanosurf 社

    AFM ラインアップ

                                  <輸入元:株式会社 テックサイエンス>

  

  

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   Nanosurf 社のキーテクノロジー

主な特徴
  • Flexure 機構ベースの電磁的に駆動する XY スキャナにより、平坦性および直線性の良いスキャニング
  • 大気中/液中測定可能(交換可能なカンチレバーホルダー: AirOnly、Liquid/Air、SThM(Scanning Termal)、FluidFM)
  • 高速、低ノイズ 4 分割フォトディテクタ、2 種類のレーザー(680、850 nm)選択可能
  • アライメント溝で自動セルフアライメントのカンチレバーホルダー、カンチレバー交換後にレーザー調整不要
  • SureAlign レーザー光学系により、液体にカンチレバーを浸ける際に調整不要
  • 上面視および側面視でサンプル観察可能
  • 透過型倒立顕微鏡にシームレスに統合
  • 操作モード
    • コンタクトモード
    • ノンコンタクトモード
    • MFM モード
    • EFM モード
    • 位相モード
    • フォースモジュレーションモード
    • ラテラルフォースモード
    • Spreading Resistance モード
    • ケルビンプローブ(KPFM)モード
    • 熱スキャニング(Scanning Termal)モード
セットアップ
FlexAFM スキャンヘッド仕様
スキャンヘッドタイプ
NIR 100 μm

NIR 10 μm

レーザークラス(波長)

クラス 1M レーザー製品(680 か、または 850 nm)

サンプルサイズ

サンプルステージ無: 無制限

サンプルステージ有: 最大 100 mm

最大ペトリディッシュ高さ(液中レベル)
9 mm (6 mm)
マニュアル高さ調整範囲
6 mm
電動アプローチ範囲(先端位置で)
2 mm
最大 XY スキャン範囲
100 μm (1)
10 μm (1)
最大 Z スキャン範囲
10 μm (2)
3 μm (1)
XY 直線性平均誤差
< 0.1 %
XY 最大スキャン範囲での平坦性
typ. 5 nm
typ. 1 nm
検出器帯域
DC - 4 MHz
検出器ノイズレベル
typ. 60 pm / max. 100 pm (3,4)
Z センサーノイズレベル(RMS)
typ. 180 pm / max. 200 pm (3)
Z 測定ノイズレベル(RMS、コンタクトモード 大気中)
typ. 100 pm / max. 200 pm
Z 測定ノイズレベル(RMS、ノンコンタクトモード 大気中)
typ. 35 pm / max. 50 pm
スキャンヘッド寸法
143 x 158 x 53 mm
スキャンヘッド重量
1.25 kg
(1) 製造許容誤差 ±5 % (2) 製造許容誤差 ±10 % (3) 2 KHz で測定 (4) XYContr カンチレバーで測定
カタログ
FlexAFM5 英文カタログ
FlexAFM5 和文カタログ

 

 

 

 

 

 

 

主な特徴
  • 操作の最大自由度のためにすべてデジタルシグナル処理
  • 正確なズームインおよびデータ収集のために非常に高感度 24 bit ADC/DAC
  • 最高品質シグナル処理および低ノイズのための差動シグナル路
セットアップ
標準機能
標準イメージングモード
  • コンタクト、ノンコンタクト、位相コントラスト、MFM、摩擦力、フォースモジュレーション、Spreading resistance モード
イメージング機能
  • 24 bit ズームインで最大 8000 x 8000 データポイント
  • ダイナミックデジタルフィルターで 8 チャネル取得
  • XY サンプル傾き補正
標準スペクトロスコピーモード
  • フォース - 距離、振幅 - 距離、位相 - 距離
スペクトロスコピー機能
  • 各スペクトロスコピーモードのセットアップウィザード
  • XY 位置表: ポイント、ラインおよび格子(最大 64 ポジション)
標準リソグラフィーモード
  • フリーベクトル描画か、またはマウスによるリアルタイム描画
  • ポイントからポイントまで動作時のチップリフトか、またはフォースコントロール
主要ハードウェア仕様
X/Y/Z 軸スキャンおよび位置コントローラー
3 x 24 bit DAC (200 KHz)
X/Y/Z 軸位置測定
3 x 24 bit ADC (200 KHz)
励起および変調出力
4 x 16 bit DAC (20 MHz)
アナログシグナル入力帯域
0 - 5 MHz
主入力シグナル取得
2 x 16 bit ADC (20 MHz)
2 x 24 bit ADC (200 KHz)
追加ユーザーシグナル出力
3 x 24 bit DAC (200 KHz)
追加ユーザーシグナル入力
3 x 24 bit ADC (200 KHz)
追加モニターシグナル出力
2 x 24 bit ADC (200 KHz)
デジタル同期
2 x デジタル出力、2 x デジタル入力、2 x I2C バス
FPGA モジュールおよび組込みプロセッサ ALTERA FPGA、32 bit NIOS-CPU、80 MHz、256 MB RAM、マルチタスク OS
コミュニケーション PC およびスキャンヘッドインターフェースに高速 USB 2.0
システムクロック
内部水晶発振器(10 MHz)、あるいは外部クロック
消費電力
90 - 240 V AC、70 W、50 / 60 Hz
オプション
  • シグナル/ IO オプション
  • 高度なモードオプション
  • ステージコントロールオプション
  • KPFM 動作パッケージ
  • カンチレバー校正オプション
  • PFM 動作パッケージ
  • 高度なスペクトロスコピーオプション
  • スクリプトインターフェースオプション
  • 高度なリソグラフィーオプション

 

カタログ
C3000 コントローラー 英文カタログ
C3000 コントローラー 和文カタログ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

主な特徴
・ Compact and complete
モダンなフレキシブルガイド付きスキャナ、完全デジタル 32 ビットコントローラ、XYZ サンプルステージ、カメラ、およびエアーフロープロテクションを 1 つのオールインワンユニットで融合することにより、比類のないコンパクトな設置面積で完全な AFM システムを実現します。 したがって、完全に動作する CoreAFM に必要な電力と USB のみを接続するだけです。
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・ Powerful and versatile
24 ビット ADC と DAC を備えた最先端のエレクトロニクスは、100 × 100 × 12 μm スキャナーの高解像度 XYZ 駆動を保証し、カンチレバーだけで限定された低ノイズフォース検出を可能にします。 完全に互換性のあるアドオンを備えた 32 の標準モードとオプションモードでは、材料研究から生命科学および電気化学までのアプリケーションに CoreAFM を最適なツールにします。 基本的な CoreAFM システムから始めて、その機能をシームレスに拡張することができます。
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Isostage のシステム統合は、スパイクガードに反映されています。 スパイクガードは、イメージング中のグリッチを除去します。 Isostage は、アクティブ防振システムですが、歪みがひどすぎる場合でもグリッチが発生する可能性があります。 スパイクガードは、そのような異常を検出し、歪みのない画像のためにラインを再スキャンします。
・ Included measurement modes
CoreAFM は、スタティックフォース、ダイナミックフォース、位相イメージング、MFM、ラテラルフォース、フォースモジュレーション、標準スペクトロスコピー、標準リソグラフィーを実行することができます。 ただし、CoreAFM モードキットを使用すると、測定結果を向上させることができます。
・ Included standard mode kits
デフォルトでは、CoreAFM にはスタティックフォースモードキット、ダイナミックフォースモードキット、フェーズイメージングモードキットが付属しており、すぐに使い始めることができます。 測定モードに応じて、モードキットは、サンプル、適切なカンチレバー、アクセサリー、またはそれらの組み合わせを含みます。
・ Additional standard mode kits
別個に入手できる追加の標準レベルモードキットは、標準スペクトロスコピーキット、標準リソグラフィキット、標準 MFM モードキット、標準液中キット、ラテラルフォースモードキット、およびフォースモジュレーションキットです。
・ Advanced functionality
高度な AFM モードとサンプル加熱、環境制御、スクリプティングなどの機能を CoreAFM に簡単に追加することができます。 標準モードと同様に、これらの機能にはモードキットが付属しています。 サンプルのほかに、カンチレバーおよび/または付属品には、ソフトウェアキーが含まれている場合があります。 上記の概要図を参照してください。
・ Value for money
シンプルで統合された設計手法により、スキャナーとコントローラー間のケーブルやコネクター、コントローラーケース、エアーフロー保護、カメラハウジングなどが不要になり、この CoreAFM では、コストパフォーマンスが良くなります。 CoreAFM とその付属品は、一貫したシステムコンセプトの一部として設計されています。
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市場で最高の価格対性能を提供する高性能で汎用性の高い AFM システムに統合されています。 使用が簡単で、堅牢で、容易に拡張できる原子間力顕微鏡です。
セットアップ
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CoreAFM スキャナー仕様
最大 XY スキャン範囲
100 μm
平坦性 < 5 nm
最大 Z スキャン範囲

12 μm

クローズドループ
サンプルサイズ

XY: 100 mm, Z: 10 mm

検出器ノイズレベル(RMS)
typ. 60 pm
max. 100 pm
Z センサーノイズレベル(RMS)
typ. 180 pm
max. 250 pm
ダイナミックモード測定ノイズ(RMS)
typ. 40 pm
max. 70 pm
スタティックモード測定ノイズ(RMS)
typ. 100 pm
max. 200 pm
コントローラー仕様
スキャンコントロールおよび入力
24 bit ADC / DAC
200 KHz
デジタルロックイン(2x)
16 bit ADC / DAC
20 MHz
ユーザー入力/出力、励起入力
24 bit ADC / DAC
5 MHz、10 V
デジタル同期
2 bit ライン/フレーム同期出力
5 V、TTL
温度同調
10 Hz - 2 MHz
FPGA、32 bit CPU、256 MB RAM
プログラム化できる
USB 2.0
カタログ
z CoreAFM 英文カタログ
y CoreAFM 和文カタログ

 

 

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